Настраиваемая печь для синтеза Si2oz с PLC-контролем сенсорного экрана и двойным слоем водяного охлаждения для применения при высоких температурах

Подходит для массового производства материалов для осаждения из паровой фазы, таких как оксид кремния; Высокоточное управление разницей температур, высокая температура и высокий вакуум; С возможностью сублимации в высоком вакууме, реакцией, обезжириванием, обезвоживанием, автоматическим шлифованием и соскабливанием материалов для осаждения из паровой фазы, сбором в печи и другими специальными технологическими возможностями.

Особенности оборудования:

Большое количество материала, высокая эффективность производства.

l Весь процесс полностью закрытый и автоматический, позволяет избежать разлета пыли, производственная площадка чистая и аккуратная.

l Контроль температуры до 1500 градусов, высокая скорость нагрева.

l Может поддерживать стабильную работу в вакууме.

Параметры оборудования:

l Тип печи - горизонтальная конструкция.

l Оборудование состоит из системы сублимации, системы сбора, системы нагрева, системы контроля температуры, вакуумной системы, механической системы и системы охлаждения.

Система сублимации состоит из зоны нагрева и зоны сбора. Зона нагрева состоит из индукционной катушки, тяжелого корунда, графитового войлока и изостатического графита. Зона сбора состоит из нержавеющей стали 310S и изоляционного слоя.

l Система контроля температуры использует централизованный режим управления с сенсорным экраном ПЛК, автоматическое управление, с сетевым портом, может осуществлять дистанционное управление.

l Система нагрева использует индукционный нагрев, а источник питания использует энергосберегающий IGBT с низким уровнем шума и экономией энергии около 15% по сравнению с традиционным тиристорным источником питания.

Вакуумная система состоит из многоступенчатого вакуумного насоса, вакуумного клапана, регулятора давления и трубопровода.

l Корпус печи выполнен из двухслойной водоохлаждающей конструкции внутри и снаружи, а часть, контактирующая с охлаждающей водой, изготовлена из нержавеющей стали 304, что эффективно предотвращает утечку газа из корпуса печи в течение длительного времени.

l Система охлаждения оснащена замкнутой системой охлаждения. Внутренняя циркуляция использует деионизированную воду, которая не вызывает образования накипи в трубопроводе оборудования. Потери воды во внутренней циркуляции незначительны. Хороший эффект рассеивания тепла, комплексная защита окружающей среды, небольшая занимаемая площадь и так далее.

l Размер зоны постоянной температуры: Φ500 мм * 600 мм, Φ600 мм * 800 мм, Φ700 мм * 1000 мм, Φ800 мм * 1600 мм и так далее. (может быть настроен в соответствии с потребностями клиента)